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KYKY镀膜仪

仪器简介:中科院北京科学仪器厂制造的生产离子溅射镀膜仪是扫描电子显微镜样品处理设备,它由真空系统和离子溅射两部分组成,利用离子镀膜使电镜成像清晰。

仪器特点:低电压溅射;高分辨率精细涂层(颗粒达2 nm);均匀厚度沉积(扫描电镜一般厚度为20nm

200A)165 mm(6英寸)腔室直径;可接膜厚监视器,实时监测镀覆层厚度;无需冷却样品台;精确的再次涂层;膜厚度重复性好;容易装载或卸载样品;可预设沉积厚度。

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